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Inline Water Heater 化學液加熱器
1. 可在短時間內達到高溫，並可提高產能效率
2. 方便吊掛、擺放，減少佔用空間需求
3. 熱轉換率高，可有效節能、省電
安全又可靠，100%石英加熱結構，無製程汙染
4. 採用石英加熱管獨家專利技術
純水、化學液適用
5. 兩種功率規格7.5 kW、10 kW
6. 三相 208V - 440V
7. PVDF 材質水道板
8. 尺寸極小 240 x 220 x 43 mm
（長 x 寬 x 深）
DI Water Heater 純水加熱器
1. 可在短時間內達到高溫，並可提高產能效率
2. 方便吊掛、擺放，減少佔用空間需求
3. 熱轉換率高，可有效節能、省電
安全又可靠，100%石英加熱結構，無製程汙染
4. 採用石英加熱管獨家專利技術
純水適用
5. 兩種功率規格7.5 kW、10 kW
6. 三相 208V - 440V
7. PPS材質水道板
8. 尺寸極小 230 x 200 x 35 mm
（長 x 寬 x 深）
Quartz Tank NCT 高溫磷酸槽
1. 加溫速度快，縮短預熱時間，提升產能
2.
散熱速度快，縮短等待換藥水的等待時間，提昇產能
3. 受熱表面均溫性佳，平均地將熱能傳導至LED wafer的蝕刻液
4.溫度可控性佳，有助於製程溫度控制，提昇生產良率
5. 機構簡單，易於機台安裝與維修
6. 體積小，節省機台體積
7. 三相 208V - 220V
8. 5kW - 8kW
9. 可依需求功率客製化
Instant Electric Boiler 大型即熱式熱水器
1. 熱轉換率達98%以上，熱利用率100%
2. 24小時分段定時定溫加熱
3. 採用氧化、靜電噴塑技術，機體簡單大方
4. 無明火、無異味、無噪音、無有害氣體
5. 故障自檢 / 防乾燒 / 防水 / 防超溫
6. 尺寸350 x 600 x 900 mm
（長 x 寬 x 高）
7. 三相 380V
Tube 內鍍膜石英薄膜加熱管
高效節能的新型電熱器件
(作為一種以面代替線的發熱元件)
1. 具有電熱效率高
2. 加熱速度快
3. 不易產生水垢，水電分離及耐酸鹼等特點
4. 能長期保持98%以上的電熱效能轉換，高效節能
